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发明名称 METHOD FOR THE ANISOTROPIC ETCHING OF METAL FILMS IN THE FABRICATION OF INTERCONNECTS
摘要
申请公布号 GB9311160(D0) 申请公布日期 1993.07.14
申请号 GB19930011160 申请日期 1993.05.27
申请人 INTEL CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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