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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05175217(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910341637 申请日期 1991.12.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIBASHI MASARU
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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