发明名称 PROCESS OF INTRODUCTION AND DIFFUSION OF PLATINUM IONS IN A SLICE OF SILICON
摘要
申请公布号 US5227315(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 US19910794390 申请日期 1991.11.19
申请人 CONSORZIO PER LA RICERCA SULLA MICROELETTRONICA NEL MEZZOGIORNO 发明人 FRISINA, FERRUCCIO;TAVOLO, NELLA;RASPAGLIESI, MARIO
分类号 H01L21/322;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
地址