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发明名称 Method of controling the sheet resistance in impurity region of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100955674(B1) 申请公布日期 2010.05.06
申请号 KR20070065847 申请日期 2007.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/324;H01L21/336 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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