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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05175512(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910356492 申请日期 1991.12.25
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KOBAYASHI TAKASUMI
分类号 H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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