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发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 KR930006121(B1) 申请公布日期 1993.07.07
申请号 KR19890019521 申请日期 1989.12.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND. CO., LTD. 发明人 OKUTA, AKIRA
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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