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发明名称 CHECKING METHOD FOR CONTACT FAILURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH05166900(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910334979 申请日期 1991.12.18
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HAMAGISHI KENJI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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