| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05166726(A) |
申请公布日期 |
1993.07.02 |
| 申请号 |
JP19910336502 |
申请日期 |
1991.12.19 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YOSHIDA TETSUHISA;NEGAMI TAKAYUKI;WADA TAKAHIRO;HIRAO TAKASHI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/28;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/265;H01L31/04 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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