发明名称 |
PROCESS AND DEVICE FOR THE ANALYSIS AND DETERMINATION OF THE CONCENTRATION OF ELEMENTS AT PREDETERMINED DEPTHS IN OBJECTS. |
摘要 |
Un procédé et un dispositif permettent d'analyser et de déterminer la concentration d'éléments à des profondeurs prédéterminables dans des objets essentiellement plans à rugosité réduite au moyen de méthodes spectroscopiques. L'objet est premièrement attaqué extérieurement par un procédé d'évaporation ou de pulvérisation, ensuite les particules moléculaires et/ou atomiques enlevées de l'objet sont déposées sur un substrat dans la phase gazeuse ou de pulvérisation, étant appliquées sur celui-ci sous forme d'une couche, puis la couche appliquée sur le substrat est analysée et/ou la concentration d'éléments dans la couche est déterminée par la méthode spectroscopique. |
申请公布号 |
EP0548101(A1) |
申请公布日期 |
1993.06.30 |
申请号 |
EP19910914829 |
申请日期 |
1991.08.27 |
申请人 |
GKSS-FORSCHUNGSZENTRUM GEESTHACHT GMBH |
发明人 |
BORMANN, RUEDIGER;SCHWENKE, HEINRICH |
分类号 |
G01N23/223 |
主分类号 |
G01N23/223 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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