发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR THE ANALYSIS AND DETERMINATION OF THE CONCENTRATION OF ELEMENTS AT PREDETERMINED DEPTHS IN OBJECTS.
摘要 Un procédé et un dispositif permettent d'analyser et de déterminer la concentration d'éléments à des profondeurs prédéterminables dans des objets essentiellement plans à rugosité réduite au moyen de méthodes spectroscopiques. L'objet est premièrement attaqué extérieurement par un procédé d'évaporation ou de pulvérisation, ensuite les particules moléculaires et/ou atomiques enlevées de l'objet sont déposées sur un substrat dans la phase gazeuse ou de pulvérisation, étant appliquées sur celui-ci sous forme d'une couche, puis la couche appliquée sur le substrat est analysée et/ou la concentration d'éléments dans la couche est déterminée par la méthode spectroscopique.
申请公布号 EP0548101(A1) 申请公布日期 1993.06.30
申请号 EP19910914829 申请日期 1991.08.27
申请人 GKSS-FORSCHUNGSZENTRUM GEESTHACHT GMBH 发明人 BORMANN, RUEDIGER;SCHWENKE, HEINRICH
分类号 G01N23/223 主分类号 G01N23/223
代理机构 代理人
主权项
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