发明名称 PRODUCTION OF DIAMOND FILM-COATED METALLIC TITANIUM
摘要
申请公布号 JPH05163570(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910350249 申请日期 1991.12.09
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 TSUMORI TOSHIHIRO
分类号 C23C14/06;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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