| 发明名称 |
PREHEATER FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05160244(A) |
申请公布日期 |
1993.06.25 |
| 申请号 |
JP19920120427 |
申请日期 |
1992.05.13 |
| 申请人 |
GOLD STAR ELECTRON CO LTD |
发明人 |
SEI YOUKEI |
| 分类号 |
B01L7/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/677;H05K13/02 |
主分类号 |
B01L7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
