| 发明名称 |
PLASMA PROCESSING BELL JAR OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0869970(A) |
申请公布日期 |
1996.03.12 |
| 申请号 |
JP19940240491 |
申请日期 |
1994.08.29 |
| 申请人 |
SOUZOU KAGAKU:KK;MIYATA GIKEN:KK |
发明人 |
TATSUMI YOSHIAKI;MIYATA SEIICHIRO |
| 分类号 |
B65D81/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
B65D81/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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