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发明名称
PROBER
摘要
申请公布号
JPH05160210(A)
申请公布日期
1993.06.25
申请号
JP19910347994
申请日期
1991.12.03
申请人
TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK
发明人
NAGASAWA YASUSHI
分类号
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
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