| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05160066(A) |
申请公布日期 |
1993.06.25 |
| 申请号 |
JP19910218931 |
申请日期 |
1991.08.29 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
USHIKU YUKIHIRO;NISHIYAMA AKIRA;IIJIMA TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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