发明名称 PARTIAL TEMPERATURE CONTROL METHOD IN CLEAN ROOM AND LATTICE LIKE CEILING FRAME USED THEREIN
摘要
申请公布号 JPH05154325(A) 申请公布日期 1993.06.22
申请号 JP19910350946 申请日期 1991.12.10
申请人 TAKENAKA KOMUTEN CO LTD 发明人 KAKIZAKI JIRO
分类号 B01D46/42;F24F7/06 主分类号 B01D46/42
代理机构 代理人
主权项
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