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发明名称 HYDROXYPOLYIMIDES AND HIGH TEMPERATURE RESISTANT POSITIVE PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP0300326(B1) 申请公布日期 1993.06.16
申请号 EP19880111088 申请日期 1988.07.12
申请人 HOECHST CELANESE CORPORATION 发明人 KHANNA, DINESH N.;MUELLER, WERNER H., DR.
分类号 G03C1/72;C08G73/10;C08L79/08;C09D179/08;G03F7/023;G03F7/038 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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