| 发明名称 |
SPACER FORMATION IN A BICMOS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5219784(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
US19900503491 |
申请日期 |
1990.04.02 |
| 申请人 |
NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION |
发明人 |
SOLHEIM, ALAN G. |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/41;H01L29/45;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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