发明名称 ION BEAM SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05148645(A) 申请公布日期 1993.06.15
申请号 JP19910101782 申请日期 1991.04.08
申请人 NIKON CORP 发明人 OSHINO TETSUYA;NAKAMURA HIROSHI;OTANI MASAYUKI
分类号 C23C14/46 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利