发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05144931(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910302993 申请日期 1991.11.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAKIDA HIDEKI;NAKATSUKA TADAYOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8232;H01L27/06 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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