| 发明名称 |
AUTOMATIC HIGH SPEED OPTICAL INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL96010(A) |
申请公布日期 |
1993.06.10 |
| 申请号 |
IL19900096010 |
申请日期 |
1990.10.15 |
| 申请人 |
KLA INSTRUMENTS CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
G06T7/00;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/93;G01N21/956;G01R31/309;G01R31/311;G06T1/00;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G06T7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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