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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05144762(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910331532 申请日期 1991.11.21
申请人 NIKKO KYODO CO LTD 发明人 KAMEYAMA TAKEHIKO
分类号 H01L21/26;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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