用等离子喷涂制造复合氧化物超导薄膜的方法

摘要

一种用等离子喷涂制造复合氧化物超导材料薄膜的方法，包括连续地向一个喷管通入操作气和复合氧化物超导材料粉末；利用电弧将操作气转化为高温等离子体；通过后者使超导材料粉末熔化，并将其喷在基材表面上；将形成的超导材料膜加热到至少700℃，再缓慢冷却至室温。所述方法改进之处的特征在于，在所述操作气中至少混入30％(体积)的氧气。

主权项

1.一种用等离子喷涂复合氧化物在基材表面上制造超导薄膜的方法，它包括下述步骤：从一个喷管的尾部向其腔体连续地通入一种操作气；从上述喷管的头部向其腔体连续地供入一种含CuxOy基团的复合氧化物超导材料粉末；在一个嵌入所述腔体尾部的电极与所述腔体内表面之间产生电弧，以便将通入该腔体的操作气转化为高温等离子气体；用已经转化为高温等离子气体的上述操作气使供入该腔体的超导材料粉末熔化；借助上述已经转化为高温等离子气体的操作气所形成的气流将上述熔化的超导材料粉末通过所述喷管均匀地喷在基材的表面上，从而在所述基材的表面上形成一层所述超导材料的膜；将上述形成的超导材料膜加热到至少700℃，然后以不超过40℃/分钟的冷却速率将上述加热过的膜缓慢冷却至室温；其改进之处的特征在于：将氧气以至少30％(体积)的量混入所述操作气。