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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING APPEARANCE, METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING MAGNETIC HEAD, AND MAGNETIC HEAD MANUFACTURING FACILITY
摘要
申请公布号
JPH05142161(A)
申请公布日期
1993.06.08
申请号
JP19910309064
申请日期
1991.11.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
SHIMODA ATSUSHI;MATSUYAMA YUKIO;KUBOTA HITOSHI
分类号
G01N21/88;G01N21/94;G11B5/455
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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