发明名称 METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING APPEARANCE, METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING MAGNETIC HEAD, AND MAGNETIC HEAD MANUFACTURING FACILITY
摘要
申请公布号 JPH05142161(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 JP19910309064 申请日期 1991.11.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMODA ATSUSHI;MATSUYAMA YUKIO;KUBOTA HITOSHI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G11B5/455 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址