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发明名称
FORMATION OF CRYSTALLINE THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH05136060(A)
申请公布日期
1993.06.01
申请号
JP19910326788
申请日期
1991.11.15
申请人
CANON INC
发明人
SATO NOBUHIKO
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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