发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05129320(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910285000 申请日期 1991.10.30
申请人 ROHM CO LTD 发明人 SHIMOJI NORIYUKI;TAKASU HIDESHI
分类号 H01L21/76;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/761;H01L29/06;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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