发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05129520(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910320915 申请日期 1991.11.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KITAMURA KAZUO
分类号 H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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