发明名称 WAFER CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05129268(A) 申请公布日期 1993.05.25
申请号 JP19910285238 申请日期 1991.10.31
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJII HIROSHI
分类号 H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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