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经营范围
发明名称
HIGH-ENERGY ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPH05121197(A)
申请公布日期
1993.05.18
申请号
JP19910284715
申请日期
1991.10.30
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
TERADA MITSUO;TOKUMURA TETSUO;KUSAKA TAKUYA;INOUE KENICHI;KOBAYASHI AKIRA;SUZUKI TOSHIMOTO;IMANAKA HIROBUMI
分类号
H05H9/00
主分类号
H05H9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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