发明名称 HIGH-ENERGY ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH05121197(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910284715 申请日期 1991.10.30
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 TERADA MITSUO;TOKUMURA TETSUO;KUSAKA TAKUYA;INOUE KENICHI;KOBAYASHI AKIRA;SUZUKI TOSHIMOTO;IMANAKA HIROBUMI
分类号 H05H9/00 主分类号 H05H9/00
代理机构 代理人
主权项
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