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发明名称 DEFLECTING APPARATUS OF CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH05109608(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910269279 申请日期 1991.10.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 BETSUI KEIICHI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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