发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05109768(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910269676 申请日期 1991.10.17
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MATSUO MINORU
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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