发明名称 Photosensitive polyimide precursor formulation.
摘要 <p>Photosensitive compositions containing a polyimide precursor and a complex cation of a polymerizable carboxylic acid functional compound with a tertiary amino functional group; and use thereof to provide a pattern.</p>
申请公布号 EP0538716(A1) 申请公布日期 1993.04.28
申请号 EP19920117496 申请日期 1992.10.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GELORME, JEFFREY DONALD;GOLDBERG, MARTIN JOSEPH;LABIANCA, NANCY CAROLYN;SHAW, JANE MAR WEST
分类号 C08G73/10;C08L79/08;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/037;G03F7/038 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
主权项
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