发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05102179(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910256857 申请日期 1991.10.04
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAGI SHINICHI
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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