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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH05102083(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910260376 申请日期 1991.10.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SEKINE MAKOTO;HORIOKA KEIJI;OKANO HARUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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