发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0590205(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910246203 申请日期 1991.09.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AOYAMA TOMONORI;SUGURO KYOICHI;KUNISHIMA IWAO
分类号 H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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