| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0588196(A) |
申请公布日期 |
1993.04.09 |
| 申请号 |
JP19910251820 |
申请日期 |
1991.09.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MORI MIKI;SAITO MASAYUKI;TOGASAKI TAKASHI;KONDO TAKESHI |
| 分类号 |
G02F1/1345;G09F9/00;H01L23/538;H05K3/00;H05K3/36 |
主分类号 |
G02F1/1345 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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