发明名称 BURN-IN TEST DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582615(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910240698 申请日期 1991.09.20
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SANO YUICHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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