发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OBERFLAECHENBEHANDLUNG.
摘要
申请公布号 DE3876145(T2) 申请公布日期 1993.04.01
申请号 DE19883876145T 申请日期 1988.06.01
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SUZUKI, KEIZO, KODAIRA-SHI TOKYO, JP;HIRAOKA, SUSUMU, KOKUBUNJI-SHI TOKYO, JP;MIZUTANI, TATSUMI, KOGANEI-SHI TOKYO, JP;NISHIMATSU, SHIGERU, KOKUBUNJI-SHI TOKYO, JP
分类号 C23C16/48;C23F4/00;C30B33/00;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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