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发明名称 PLASMA TREATMENT METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0512677(A3) 申请公布日期 1993.03.31
申请号 EP19920302728 申请日期 1992.03.27
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KUMIHASHI, TAKAO;TSUJIMOTO, KAZUNORI;TACHI, SHINICHI;KANETOMO, MASAFUMI;KOBAYASHI, JUNICHI;USUI, TATEHITO;MISE, NOBUYUKI
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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