发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0575074(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910232872 申请日期 1991.09.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TERADA YASUSHI;NAKAYAMA TAKESHI;KOBAYASHI SHINICHI;MIYAWAKI YOSHIKAZU;FUTATSUYA TOMOSHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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