发明名称 |
SCANNING TYPE SEMICONDUCTOR PROBE MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0574401(A) |
申请公布日期 |
1993.03.26 |
申请号 |
JP19910234428 |
申请日期 |
1991.09.13 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKADA KEIJI;HIRUMA TAKEYUKI;ONISHI TAKESHI |
分类号 |
G01B7/34;G01B7/00;G01Q60/00;G01Q60/16;G01Q60/38;G01Q60/54;G01Q60/58;G01Q70/08;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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