发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0575116(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910235852 申请日期 1991.09.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAKI SHUNICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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