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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EPITAXIESCHICHT EINES III-V-VERBINDUNGSHALBLEITERS.
摘要
申请公布号 DE3875992(T2) 申请公布日期 1993.03.25
申请号 DE19883875992T 申请日期 1988.03.24
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MOCHIZUKI, KOUJI, ISEHARA-SHI KANAGAWA 259-11, JP;OZEKI, MASASHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 227, JP;OHTSUKA, NOBUYUKI, ATSUGI-SHI KANAGAWA 243, JP
分类号 C30B25/02;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02;C30B29/40;H01L21/203 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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