发明名称 |
CANTILEVER CHIP FOR SCANNING-TYPE PROBE MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0571950(A) |
申请公布日期 |
1993.03.23 |
申请号 |
JP19910236561 |
申请日期 |
1991.09.17 |
申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
MATSUYAMA KATSUHIRO;TODA AKITOSHI |
分类号 |
G01B21/30;G01B7/34;G01Q60/38;G01Q70/08;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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