发明名称 ELECTRODE FOR PLASMA CVD DEVICE AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0570959(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910263260 申请日期 1991.09.13
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 ITAKUSU MOTOKUNI
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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