| 发明名称 |
VERTICAL-TYPE DIFFUSION CVD FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0567577(A) |
申请公布日期 |
1993.03.19 |
| 申请号 |
JP19910258341 |
申请日期 |
1991.09.09 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TOMEZUKA KOJI;SHIMIZU AKIO |
| 分类号 |
C23C16/54;C30B25/10;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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