发明名称 DISPOSITIF A SEMICONDUCTEURS COMPORTANT PLUSIEURS ELECTRODES DE GRILLE ET PROCEDE DE FABRICATION.
摘要 Un dispositif à semiconducteurs comprend un substrat dans lequel est produit un gaz d'électrons bidimensionnel (8), des électrodes de source et de drain sur le substrat, et une électrode de grille comprenant un ensemble d'électrodes de grille inférieures (1) et une électrode de grille supérieure (2). Lorsqu'une tension de polarisation est appliquée à l'électrode de grille, une couche de désertion dans le substrat s'étend au-dessous des électrodes de grille inférieures (1), et le gaz d'électrons bidimensionnel (8) est concentré au-dessous des régions dans lesquelles les électrodes de grille inférieures sont absentes, provoquant ainsi la formation d'un gaz d'électrons quasi-unidimensionnel. On obtient ainsi un dispositif utilisant à titre de canal le gaz d'électrons quasi-unidimensionnel, dans lequel la capacité parasite n'augmente pas.
申请公布号 FR2681475(A1) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 FR19920010806 申请日期 1992.09.10
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 SHIMURA TERUYUKI
分类号 H01L29/201;H01L21/338;H01L29/06;H01L29/66;H01L29/775;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L29/201
代理机构 代理人
主权项
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