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发明名称 METHOD OF FORMING A DIELECTRIC FILM AND SEMI CONDUCTOR DEVICE INCLUDING SAID FILM
摘要
申请公布号 SG134792(G) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 SG19920001347 申请日期 1992.12.30
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人
分类号 H01L21/316;C23C14/02;C23C14/08;H01L21/28;H01L29/51;(IPC1-7):C23C14/08 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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