发明名称 HAOLLARELEMENT AV GRAFIT FOER UPPVAERMNINGSSTAVAR I INDUSTRIUGNAR
摘要
申请公布号 FI87966(C) 申请公布日期 1993.03.10
申请号 FI19880002207 申请日期 1988.05.11
申请人 ALD VACUUMTECHNOLOGIES GMBH, 发明人 HEISE,WOLFGANG;KELL,GEORG;SCHUSTER,ROLF
分类号 H05B3/02;F27D11/02;H05B3/64;H05B3/66;(IPC1-7):H05B3/66;F27D11/00;F27D23/00 主分类号 H05B3/02
代理机构 代理人
主权项
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