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发明名称 ETCHING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0555185(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910212491 申请日期 1991.08.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SAITO SHUICHI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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