| 发明名称 |
Textured polysilicon stacked trench capacitor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5191509(A) |
申请公布日期 |
1993.03.02 |
| 申请号 |
US19910806080 |
申请日期 |
1991.12.11 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
WEN, DUEN-SHUN |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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